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第 34 卷第 2 期2014年 4 月中国腐蚀与防护学报Journal of Chinese Society for Corrosion and ProtectionVol.34 No.2Apr. 2014膜电解法再生FeCl3蚀刻液的蚀刻性能研究保积庆1,2 沈筱芳2 徐 劼1 俞 恬11. 嘉兴学院生物与化学工程学院 嘉兴 314001;2. 常州大学环境与安全工程学院 常州 213100摘要：对某蚀刻厂的废蚀刻液通过膜电解工艺进行再生，并通过蚀刻性能条件实验研究了蚀刻时间、温度、蚀刻液浓度、蚀刻液游离酸含量等因素对蚀刻液 (新蚀刻液、在线蚀刻液、再生蚀刻液) 氧化还原电位和蚀刻速率的影响。结果表明，再生蚀刻液满足蚀刻要求，并且当蚀刻温度为50~60 ℃、蚀刻液浓度为再生蚀刻液浓度的90%、游离酸浓度为0.3 mol/L以上时，再生蚀刻液蚀刻速率最大。关键词：再生蚀刻液 膜电解 蚀刻速率中图分类号：X781.
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